TIÊU CHUẨN QUỐC GIA

TCVN 8553:2010

ISO 18452:2005

GỐM MỊN (GỐM CAO CẤP, GỐM KỸ THUẬT CAO CẤP) - XÁC ĐỊNH ĐỘ DÀY CỦA MÀNG GỐM BẰNG THIẾT BỊ ĐO BIÊN DẠNG ĐẦU DÒ TIẾP XÚC

Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) - Determination of thickness of ceramic films by contact-probe profilometer

Lời nói đầu

TCVN 8553:2010 hoàn toàn tương đương với ISO 18452:2005.

TCVN 8553:2010 do Ban kỹ thuật tiêu chuẩn quốc gia TCVN/TC206 Gốm cao cấp biên soạn. Tổng cục Tiêu chuẩn Đo lường Chất lượng đề nghị. Bộ Khoa học và Công nghệ công bố.

GỐM MỊN (GỐM CAO CẤP, GỐM KỸ THUẬT CAO CẤP) - XÁC ĐỊNH ĐỘ DÀY CỦA MÀNG GỐM BẰNG THIẾT BỊ ĐO BIÊN DẠNG ĐẦU DÒ TIẾP XÚC

Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) - Determination of thickness of ceramic films by contact-probe profilometer

1. Phạm vi áp dụng

Tiêu chuẩn này quy định phương pháp xác định độ dày của màng gốm mịn và các lớp phủ gốm bằng thiết bị đo biên dạng đầu dò tiếp xúc. Phương pháp này thích hợp đối với độ dày màng trong dải từ 10 nm đến 10 000 nm.

CHÚ THÍCH: Phương pháp này yêu cầu ranh giới giữa các phần được phủ hoặc không được phủ của đế phải rõ ràng

2. Tài liệu viện dẫn

Các tài liệu viện dẫn sau đây là cần thiết để áp dụng tiêu chuẩn này. Đối với các tài liệu viện dẫn ghi năm công bố thì áp dụng bản được nêu. Đối với các tài liệu viện dẫn không ghi năm công bố thì áp dụng phiên bản mới nhất, bao gồm cả các sửa đổi, bổ sung (nếu có).

ISO 3274, Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Profile method - Nominal characteristics of contact (stylus) instruments (Đặc tính kỹ thuật về hình học của sản phẩm - Kết cấu bề mặt: Phương pháp biên dạng - Đặc tính danh định của thiết bị tiếp xúc mũi nhọn (stylus)).

3. Thuật ngữ và định nghĩa

Trong tiêu chuẩn này sử dụng các thuật ngữ và định nghĩa sau.

3.1

Màng gốm mịn (fine ceramic film)

Lớp phủ mỏng chứa vật liệu gốm mịn lên bề mặt đế.

VÍ DỤ: Các vật liệu điển hình như là oxit, cacbua, nitrit, v.v... được phủ bằng những phương pháp như bay hơi trong chân không, phún xạ. lắng đọng hóa học, v.v...

4. Nguyên lý của phép đo

Tiêu chuẩn này liên quan đến phép đo độ dày màng của lớp phủ gốm mịn trên đế sử dụng thiết bị đo biên dạng đầu dò tiếp xúc. Độ dày màng sẽ được tính từ biên dạng thu được bằng cách quét đầu dò tiếp xúc theo hướng từ C ® B ® A, như chỉ ra trong Hình 1. Biên dạng tỷ lệ với sự chênh lệch về độ cao giữa các phần được phủ và không được phủ màng gốm mịn.

CHÚ DẪN

1          đầu dò tiếp xúc

2          màng

3          mức chênh lệch

4          đế

t           độ dày màng

Hình 1 - Nguyên lý của phép đo sử dụng thiết bị đo biên dạng đầu dò tiếp xúc

5. Môi trường thử nghiệm

Phép thử phải được thực hiện trong môi trường không có sự rung cơ học gây ảnh hưởng đến phép đo.